సాంకేతిక పారామితులు:
| వస్తువు | పరామితి |
| పరీక్ష పరిధి | 0.01~6500(cc/㎡.24h) |
| రిజల్యూషన్ నిష్పత్తి | 0.001 |
| పారగమ్యత ఉపరితల వైశాల్యం | 50 సెంట్లు/చదరపు சேர்த�ம் (ఇతరాలు ప్రత్యేకంగా తయారు చేయబడాలి) |
| మైక్రోన్యూక్లియస్ వ్యాసం కొలత | 108*108మి.మీ |
| నమూనా మందం | <3 మిమీ (మందంగా ఉంటే ఉపకరణాలు జోడించాలి) |
| నమూనా పరిమాణం | 1 |
| టెస్ట్ మోడ్ | స్వతంత్ర సెన్సార్ |
| ఉష్ణోగ్రత పరిధి | 15℃ ~ 55℃ (ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ పరికరం విడిగా కొనుగోలు చేయాలి) |
| ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ ఖచ్చితత్వం | ±0.1℃ |
| వాహక వాయువు | 99.999% అధిక స్వచ్ఛత గల నత్రజని (గాలి వనరు వినియోగదారు) |
| వాహక వాయు ప్రవాహం | 0~100 మి.లీ/నిమిషం |
| గాలి మూల పీడనం | ≥0.2MPa |
| ఇంటర్ఫేస్ పరిమాణం | 1/8 అంగుళాల లోహపు పైపు |
| కొలతలు | 740మిమీ (పొడవు)×415 మిమీ (వెడల్పు)×430మిమీ (ఎత్తు) |
| వోల్టేజ్ | AC 220V 50Hz |
| నికర బరువు | 50 కిలోలు |